隨著人們生活質(zhì)量的提高,對空氣質(zhì)量也有所要求,無塵凈化工程也大量的開展起來,這當(dāng)然需要許多設(shè)備,因此對無塵室也有一定的要求,那么,無塵室的分類是怎樣的呢?
1. 亂流式(Turbulent Flow):空氣由空調(diào)機(jī)箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室內(nèi)的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為:1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本比較低,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所需提高潔凈等級,可結(jié)合潔凈工作臺(tái)來提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求的潔凈度,往往須相當(dāng)長一段時(shí)間。
2.層流式(Laminar): 空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)回風(fēng)柱回風(fēng),此型式適合于級別比較高的潔凈室,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式(Mixed Type): 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式
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